申请/专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所

申请日：2021-09-24

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN113702357B

主分类号：G01N21/71

分类号：G01N21/71;G01N21/01

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2021.12.14#实质审查的生效;2021.11.26#公开

摘要：一种基于随机光栅压缩感知的激光诱导击穿光谱装置及测量方法，该装置包含基于随机光栅的光谱采集模块。所述的基于随机光栅的光谱采集模块包含收集透镜、出瞳转换系统、随机光栅、光电探测器、脉冲延时器和计算机，本装置不仅可以获得等离子特征光谱的波长和强度信息，还可以通过移动随机光栅，使光电探测器直接获得等离子体图像，实现等离子体演化过程的实时成像。与传统激光诱导击穿光谱LIBS装置相比，本发明装置采用基于随机光栅的压缩感知成像系统取代了基于光谱仪的光谱成像系统，可获得宽光谱范围、高分辨率的特征光谱和等离子演化过程的实时图像；同时，由于本装置不需要光谱仪，因此缩小了装置体积，降低了装置成本。

主权项：1.一种基于随机光栅压缩感知的激光诱导击穿光谱装置，包括激光诱导等离子体产生模块和光谱采集模块,所述的激光诱导等离子体产生模块包括激光器1、反射镜2、聚焦透镜3和位移台5，其特征在于，所述的光谱采集模块是基于随机光栅的光谱采集模块，该基于随机光栅的光谱采集模块包括收集透镜6、出瞳转换系统7、随机光栅8、光电探测器9、脉冲延时器10和计算机11，沿所述的激光器1的激光输出方向依次是所述的反射镜2、聚焦透镜3和位移台5，待测样品4置于所述的位移台5上，沿待测样品4的反射光方向依次是所述的收集透镜6、出瞳转换系统7、随机光栅8、光电探测器9，所述的激光器1输出的激光经所述的脉冲延时器10与所述的光电探测器9相连，所述的光电探测器9的输出端与所述的计算机11的输入端相连，所述的计算机11的输出端分别与所述的激光器1、脉冲延时器10、位移台5的控制端相连；所述的出瞳转换系统7是成像透镜组，用于将收集透镜6收集到的光成像到随机光栅8上，使各个方向入射的光场都能够通过随机光栅8中心，实现扩大成像范围的目的；所述的随机光栅8是毛玻璃、随机散射片、光子晶体或宽带衍射片。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院上海光学精密机械研究所 基于随机光栅压缩感知的激光诱导击穿光谱装置及测量方法

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