申请/专利权人：株式会社尼康

申请日：2019-01-15

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN111656284B

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：["20180124 JP 2018-009277","20181109 JP 2018-211010"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2020.10.13#实质审查的生效;2020.09.11#公开

摘要：曝光装置EX设置有：光源2A、2B、2C，其为了对光罩基板M进行照明而产生包含多个明线波长g射线、h射线、i射线等的光；第1照明光学系统，其具有：射入来自光源2A2B、2C的光且将包含多个明线波长中的至少1个特定明线波长i射线而限制为既定的波长宽度的照明光束抽出的波长选择部6A、6B、6C、及调整照明光束的发散角的数值孔径可变部8A、8B、8C；以及第2照明光学系统ILn，其包含用以伴随与发散角对应的数值孔径而以同样的照度对光罩基板上照射照明光束的光学积分器复眼透镜系统FEn；并且于波长选择部安装第1波长选择元件干涉滤光器SWb，其一面将特定明线波长i射线的旁边出现的长波长侧的明线及短波长侧的明线去除，一面将特定明线波长的光谱成分及分布于特定明线波长的底部附近的低亮度的光谱成分抽出。

主权项：1.一种曝光装置，其为将光罩的图案投影曝光于光感应性的基板，其具备：第1照明光学系统，其具有：射入包含多个明线的光且使包含上述多个明线中的至少1个明线的照明光穿透的波长选择部、及调整已穿透上述波长选择部的上述照明光的发散角的数值孔径可变部；以及第2照明光学系统，其包含光学积分器，其射入上述发散角经调整的上述照明光，伴随与上述发散角对应的数值孔径，而以同样的照度对上述光罩上照射上述照明光；上述波长选择部具有：第1波长选择元件，其使包含上述至少1个明线的第1波长宽度的光穿透；以及第2波长选择元件，其将上述至少1个明线的旁边出现的长波长侧的明线及短波长侧的明线去除，且使波长宽度比上述第1波长宽度宽的第2波长宽度的光穿透，上述第1波长选择元件或上述第2波长选择元件可于包含上述多个明线的光的光路中交换。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社尼康 曝光装置及曝光方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD