申请/专利权人：株式会社爱发科

申请日：2020-04-13

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN111834252B

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/677

优先权：["20190417 JP 2019-078803"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2020.11.13#实质审查的生效;2020.10.27#公开

摘要：本发明的基板处理装置，具备：多段收纳多张基板的卡匣；能够密闭地收纳所述卡匣的腔室；使所述卡匣在所述腔室内升降的升降机构；将所述基板相对于所述卡匣搬出搬入的搬运机器人；以及控制所述升降机构及所述搬运机器人的动作的控制部，在所述腔室的侧面部设置有在将所述基板搬入所述卡匣和从该卡匣搬出时开口的搬出搬入口，所述搬运机器人具备载置所述基板的机械臂，所述机械臂能够在水平方向上移动并从所述搬出搬入口插入所述卡匣内，且能够在所述卡匣内上升或下降，所述控制部在所述卡匣内使所述机械臂下降的情况下，通过所述升降机构使所述卡匣上升，在所述卡匣内使所述机械臂上升的情况下，通过所述升降机构使所述卡匣下降。

主权项：1.一种基板处理装置，其特征在于，具备：多段收纳多张基板的卡匣；能够密闭地收纳所述卡匣的腔室；使所述卡匣在所述腔室内升降的升降机构；将所述基板相对于所述卡匣搬出搬入的搬运机器人；以及控制所述升降机构及所述搬运机器人的动作的控制部，在所述腔室的侧面部设置有在将所述基板搬入所述卡匣和从该卡匣搬出时开口的搬出搬入口，所述搬运机器人具备载置所述基板的机械臂，所述机械臂能够在水平方向上移动并从所述搬出搬入口插入所述卡匣内，且能够在所述卡匣内上升或下降，所述控制部在所述卡匣内使所述机械臂下降的情况下，通过所述升降机构使所述卡匣上升，在所述卡匣内使所述机械臂上升的情况下，通过所述升降机构使所述卡匣下降，通过在所述机械臂上升或下降时所述卡匣向与所述机械臂的运动方向相反的方向运动，从而将所述搬出搬入口在高度方向的尺寸减小至所述机械臂在所述卡匣内上升时的位移量或下降时的位移量减小的程度，从而减小所述搬出搬入口的开口面积。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社爱发科 基板处理装置

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