申请/专利权人：广东利扬芯片测试股份有限公司

申请日：2021-12-06

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN114217206B

主分类号：G01R31/28

分类号：G01R31/28

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2022.04.08#实质审查的生效;2022.03.22#公开

摘要：本发明揭示了一种双面工艺PIN二极管电源管理芯片的检测系统，所述检测系统包括测试机且所述测试机免除对通用探针卡的使用，改为设置彼此为独立电路板的电源管理芯片功能测试电路、电源管理芯片修调电路；其中，电源管理芯片修调电路实现为测试子板，电源管理芯片功能测试电路实现为测试主板；所述测试子板包括复数个继电器；所述测试机经由所述测试主板连接到所述测试子板，以控制测试子板上的所述复数个继电器，并突破通用探针卡大小对继电器数量的限制。除突破继电器数量的限制外，本发明中彼此独立的测试主板和测试子板可以避免动作继电器时，外部电源给入的烧断熔丝电压因测试回路GND的问题导致熔丝的烧伤问题。

主权项：1.一种双面工艺PIN二极管电源管理芯片的检测系统，其特征在于：所述检测系统包括测试机、电源管理芯片功能测试电路、电源管理芯片修调电路以及承载晶圆的探针台，且所述测试机免除对通用探针卡的使用，改为设置彼此为独立电路板的电源管理芯片功能测试电路和电源管理芯片修调电路；其中，电源管理芯片修调电路实现为测试子板，电源管理芯片功能测试电路实现为测试主板；所述测试子板包括复数个继电器；所述测试机的通道经由所述测试主板和探针连接到探针台上的晶圆的芯片正面，形成完整的电源管理芯片功能测试回路，且与电源管理芯片修调回路互不影响；探针台通过铜盘的真空吸附晶圆的芯片背面，将铜盘的地通过BNC头与所述测试子板连接，形成完整的电源管理芯片修调回路，且与电源管理芯片功能测试回路互不影响；所述测试机经由所述测试主板连接到所述测试子板，以控制测试子板上的所述复数个继电器，并突破通用探针卡大小对继电器数量的限制；其中，所述测试主板是具有通用探针卡做底层的测试主板；所述测试子板通过双排插针与测试主板的通用探针卡连接；所述测试机通过排线与测试主板的通用探针卡连接；所述电源管理芯片功能测试电路和电源管理芯片修调电路不共地；所述检测系统提供1000V的耐压测试以及微安级电流。

全文数据：

权利要求：

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