申请/专利权人：上海积塔半导体有限公司

申请日：2023-09-08

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN220767243U

主分类号：C30B25/10

分类号：C30B25/10;H01L21/67;C30B25/08;C30B23/06;C30B23/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权

摘要：本实用新型提供了一种外延炉加热灯板及外延炉。所述外延炉加热灯板具有上温区、中温区和下温区；所述上温区、中温区和下温区均包括依序排布的多根灯管，且所述上温区和所述下温区的灯管数量均大于所述中温区的灯管数量。本实用新型通过对外延炉加热灯板的灯管接线方式、温区分布、设备温控结构进行改造，使得整个灯板的加热方式功率更加均衡，避免出现局部灯管过载过热。经过改造后，经长时间的工艺验证，没有出现灯板反射板烧坏，灯管过载、工艺腔体报废等现象，有效延长了外延炉的灯管、反射板以及工艺腔体的寿命，提高设备利用率，降低维修成本。

主权项：1.一种外延炉加热灯板，具有上温区、中温区和下温区；其特征在于，所述上温区、中温区和下温区均包括依序排布的多根灯管，且所述上温区和所述下温区的灯管数量均大于所述中温区的灯管数量。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海积塔半导体有限公司 外延炉加热灯板及外延炉

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