申请/专利权人：青岛高测科技股份有限公司

申请日：2023-08-25

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN220765770U

主分类号：B65G47/90

分类号：B65G47/90

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权

摘要：本实用新型公开了一种晶棒夹爪组件、晶棒转运装置及晶棒加工系统，包括回转框架、上夹爪模块和下夹爪模块，上夹爪模块和下夹爪模块与回转框架滑动连接；回转框架上设置有升降驱动组件，上夹爪模块与升降驱动组件固定连接，以在升降驱动组件的驱动下往复运动，下夹爪模块与升降驱动组件离合连接，下夹爪模块与升降驱动组件固定连接时，下夹爪模块可在升降驱动组件的驱动下往复运动，下夹爪模块与升降驱动组件脱离连接时，下夹爪模块可维持在回转框架上的预设位置。本实用新型的晶棒夹爪组件通过下夹爪模块与升降驱动组件离合连接分别对两个夹爪模块进行位置调节，结构简单，有利于设备的稳定运行。

主权项：1.一种晶棒夹爪组件，其特征在于，包括回转框架、上夹爪模块和下夹爪模块，上夹爪模块和下夹爪模块与回转框架滑动连接；回转框架上设置有升降驱动组件，上夹爪模块与升降驱动组件固定连接，以在升降驱动组件的驱动下往复运动，下夹爪模块与升降驱动组件离合连接，下夹爪模块与升降驱动组件固定连接时，下夹爪模块可在升降驱动组件的驱动下往复运动，下夹爪模块与升降驱动组件脱离连接时，下夹爪模块可维持在回转框架上的预设位置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 青岛高测科技股份有限公司 晶棒夹爪组件、晶棒转运装置及晶棒加工系统

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