申请/专利权人：湖南碳谷新材料有限公司

申请日：2023-09-11

公开（公告）日：2024-05-03

公开（公告）号：CN220887674U

主分类号：C23C16/455

分类号：C23C16/455;C23C16/52

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.05.03#授权

摘要：本实用新型公布了一种直板沉积工装，属于沉积相关技术领域，包括底痤和壳体，壳体设置为多层，壳体上设置有多个活动门，底痤上设置有多个支撑条，支撑条设置有多层，最里侧的支撑条上设置有支撑块，支撑块设置为梳子状；支撑块内设置有多个待沉积的第一直板，支撑块设置有多个。本发明的直板沉积工装采用多层支撑条和梳子状支撑块的结构，可以放置多个待沉积的第一直板，并保证第一直板之间有一定的间隔，保证了气体的流动和分布，提高了沉积的均匀性和质量。

主权项：1.一种直板沉积工装，其特征在于，包括底痤1和壳体12，壳体12设置为多层，壳体12上设置有多个活动门2，底痤1上设置有多个支撑条13，支撑条13设置有多层，最里侧的支撑条13上设置有支撑块10，支撑块10设置为梳子状；支撑块10内设置有多个待沉积的第一直板6，支撑块10设置有多个。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 湖南碳谷新材料有限公司 一种直板沉积工装

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