申请/专利权人：佳能株式会社

申请日：2019-09-12

公开（公告）日：2020-03-24

公开（公告）号：CN110908247A

主分类号：G03F7/20(20060101)

分类号：G03F7/20(20060101)

优先权：["20180918 JP 2018-174192"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.01.16#授权;2020.10.13#实质审查的生效;2020.03.24#公开

摘要：本发明提供的定位装置具备：第1部件，具有与第1方向平行的第1面；第1轨道以及第2轨道，以在与上述第1方向交叉的第2方向相互隔离且与上述第1方向平行地配置的方式固定于上述第1部件；第1块体以及第2块体，由上述第1轨道支撑而能沿上述第1轨道移动；第3块体，由上述第2轨道支撑而能沿上述第2轨道移动；第2部件，具有面对上述第1面的第2面，并固定于上述第1块体、上述第2块体以及上述第3块体；以及紧固部，以上述第1面和上述第2面接触的方式将上述第1部件以及上述第2部件相互紧固，上述第1部件以及上述第2部件是刚性部件。

主权项：1.一种定位装置，其特征在于，该定位装置具备：第1部件，该第1部件具有与第1方向平行的第1面；第1轨道以及第2轨道，该第1轨道以及第2轨道以在与上述第1方向交叉的第2方向相互隔离且与上述第1方向平行地配置的方式固定于上述第1部件；第1块体以及第2块体，该第1块体以及第2块体由上述第1轨道支撑而能沿上述第1轨道移动；第3块体，该第3块体由上述第2轨道支撑而能沿上述第2轨道移动；第2部件，该第2部件具有面对上述第1面的第2面，并固定于上述第1块体、上述第2块体以及上述第3块体；以及紧固部，该紧固部以上述第1面和上述第2面接触的方式将上述第1部件以及上述第2部件相互紧固，上述第1部件以及上述第2部件是刚性部件。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 佳能株式会社 定位装置以及曝光装置

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