申请/专利权人：长园启华智能科技(珠海)有限公司

申请日：2019-09-26

公开（公告）日：2020-06-26

公开（公告）号：CN210866145U

主分类号：H01L21/68(20060101)

分类号：H01L21/68(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.06.26#授权

摘要：本实用新型公开了一种晶圆定位机构，包括夹紧气缸及保护夹爪，夹紧气缸包括气缸主体及两滑动安装于气缸主体的气爪夹头，保护夹爪包括两夹持组件，每一夹持组件固定于一气爪夹头，每一夹持组件设有粗定位夹持面及精定位夹持面，粗定位夹持面及精定位夹持面连接，晶圆夹持于两夹持组件的粗定位夹持面进行粗定位后滑落至精定位夹持面进行精定位，整个定位过程中，只有晶圆侧缘与粗定位夹持面及精定位夹持面碰触，光刻面不接触，无污染。

主权项：1.一种晶圆定位机构，包括夹紧气缸及保护夹爪，其特征在于：所述夹紧气缸包括气缸主体及两滑动安装于所述气缸主体的气爪夹头，所述保护夹爪包括两夹持组件，每一所述夹持组件固定于一所述气爪夹头，每一所述夹持组件设有粗定位夹持面及精定位夹持面，所述粗定位夹持面及所述精定位夹持面连接，晶圆夹持于两所述夹持组件的粗定位夹持面进行粗定位后滑落至所述精定位夹持面进行精定位。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长园启华智能科技(珠海)有限公司 晶圆定位机构

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