申请/专利权人：东京毅力科创株式会社

申请日：2020-02-26

公开（公告）日：2020-09-15

公开（公告）号：CN111668142A

主分类号：H01L21/673(20060101)

分类号：H01L21/673(20060101);H01L21/67(20060101);H01L21/677(20060101);H01L21/687(20060101)

优先权：["20190307 JP 2019-041408"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.12.28#实质审查的生效;2020.09.15#公开

摘要：本发明提供分隔板、保管容器、基片处理系统和基片的输送方法。消耗部件的保管容器包括多个收纳部、分隔板和固定部。多个收纳部构成为能够逐一收纳从一个方向插入的消耗部件。构成为能够代替上述消耗部件而收纳在上述多个收纳部中的分隔板，其具有构成为能够夹在发光部与受光部之间的第1部分。固定部将多个收纳部固定在去往配置消耗部件的真空处理室的输送路径上。本发明能够防止基片和消耗部件的误输送。

主权项：1.一种消耗部件的保管容器，其特征在于，包括：多个收纳部，其构成为能够逐一收纳从一个方向送入送出的消耗部件；构成为能够收纳在所述多个收纳部的一个收纳部中的分隔板，其具有构成为能够夹在检测部所具有的发光部与受光部之间的第1部分；和固定部，其以能够将所述消耗部件从所述多个收纳部送入送出的方式在输送路径上进行固定。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东京毅力科创株式会社 分隔板、保管容器、基片处理系统和基片的输送方法

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