申请/专利权人：江苏新智达新能源设备有限公司

申请日：2020-12-30

公开（公告）日：2021-04-27

公开（公告）号：CN112713116A

主分类号：H01L21/683(20060101)

分类号：H01L21/683(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.12.21#授权;2021.05.14#实质审查的生效;2021.04.27#公开

摘要：本发明提供了一种取晶用晶元蓝膜张紧机构，包括机架和支撑环，所述机架包括沿水平方向设置的安装板，所述安装板中开设有安装孔，所述支撑环转动安装在所述安装孔中，所述支撑环的转动轴心沿竖直方向设置，所述支撑环中设有用于放置晶元蓝膜的扩晶环，所述支撑环的上方设有半分环，所述半分环的数量为二个，二个所述半分环通过竖直调节机构安装在所述支撑环上，通过设置扩晶环和半分环，将晶元蓝膜放置在扩晶环上，竖直调节机构驱动半分环下移并下压晶元蓝膜，使得晶元蓝膜的中部张紧在扩晶环上，进而能够避免晶元蓝膜过于松弛影响取晶精度。

主权项：1.一种取晶用晶元蓝膜张紧机构，其特征在于：包括机架（1）和支撑环（2），所述机架（1）包括沿水平方向设置的安装板（3），所述安装板（3）中开设有安装孔，所述支撑环（2）转动安装在所述安装孔中，所述支撑环（2）的转动轴心沿竖直方向设置，所述支撑环（2）中设有用于放置晶元蓝膜的扩晶环（4），所述支撑环（2）的上方设有半分环（5），所述半分环（5）的数量为二个，二个所述半分环（5）通过竖直调节机构安装在所述支撑环（2）上，所述竖直调节机构可驱动二个所述半分环（5）沿竖直方向移动，并将所述晶元蓝膜的中部张紧在所述扩晶环（4）上。

全文数据：

权利要求：

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