申请/专利权人：南京集芯光电技术研究院有限公司

申请日：2020-11-13

公开（公告）日：2021-04-27

公开（公告）号：CN213071081U

主分类号：H01L21/673(20060101)

分类号：H01L21/673(20060101);H01L21/67(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.04.27#授权

摘要：本发明公开了一种实验室用小尺寸晶圆清洗花篮，包括清洗花篮主体，所述清洗花篮主体底部设有进液孔，所述进液孔的直径小于晶圆的宽度，其特征在于：所述清洗花篮主体上设多个晶圆限位槽，所述晶圆限位槽的尺寸与晶圆的尺寸匹配，便于晶圆插入晶圆限位槽中，还包括提手，所述提手设置于清洗花篮主体上。本发明可广泛应用于研发试验时各种使用危险化学品清洗晶圆的场景，可保证精确控制清洗工艺参数，最优化清洗效果的前提下，最大限度的减少了操作人员与危险化学品接触的几率。

主权项：1.一种实验室用小尺寸晶圆清洗花篮，包括清洗花篮主体，所述清洗花篮主体底部设有进液孔，所述进液孔的直径小于晶圆的宽度，其特征在于：所述清洗花篮主体上设多个晶圆限位槽，所述晶圆限位槽的尺寸与晶圆的尺寸匹配，便于晶圆插入晶圆限位槽中，还包括提手，所述提手设置于清洗花篮主体上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京集芯光电技术研究院有限公司 实验室用小尺寸晶圆清洗花篮

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