申请/专利权人：南昌欧菲显示科技有限公司

申请日：2020-08-14

公开（公告）日：2021-04-27

公开（公告）号：CN213069470U

主分类号：G03F1/60(20120101)

分类号：G03F1/60(20120101);G03F1/62(20120101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.04.27#授权

摘要：本实用新型提供了一种掩膜版，用于对与掩膜版相对设置的基板进行加工，该掩膜版包括第一子掩膜版和第二子掩膜版，第一子掩膜版和第二子掩膜版间隔设置，并且第一子掩膜版和第二子掩膜版之间设有镂空区域，第二子掩膜版呈条状且设有多个间隔分布的缺口，第一子掩膜版和第二子掩膜版用于阻挡紫外光穿过，镂空区域与缺口用于紫外光穿过，以对基板进行加工。通过在第二子掩膜版上设置多个间隔分布的缺口，使得在剥膜过程中，条状的第二子掩膜版在被喷淋液冲击时，其在缺口处容易受到冲击力而断裂，使得第二子掩膜版分解成多个长度较短的部分，避免了第二子掩膜版因长度过长而缠绕在机台滚轮上和腔体里面，从而保证了作业效率和基板品质。

主权项：1.一种掩膜版，用于对与所述掩膜版相对设置的基板进行加工，其特征在于，所述掩膜版包括第一子掩膜版和第二子掩膜版，所述第一子掩膜版和所述第二子掩膜版间隔设置，并且所述第一子掩膜版和所述第二子掩膜版之间设有镂空区域，所述第二子掩膜版呈条状且设有多个间隔分布的缺口，所述第一子掩膜版和所述第二子掩膜版用于阻挡紫外光穿过，所述镂空区域与所述缺口用于紫外光穿过，以对所述基板进行加工。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南昌欧菲显示科技有限公司 掩膜版

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