申请/专利权人：川崎重工业株式会社;川崎机器人(美国)有限公司

申请日：2020-04-10

公开（公告）日：2021-07-23

公开（公告）号：CN113165169A

主分类号：B25J9/06(20060101)

分类号：B25J9/06(20060101);B25J9/10(20060101);B25J9/16(20060101);H01L21/677(20060101)

优先权：["20190509 US 16/407,601"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.08.10#实质审查的生效;2021.07.23#公开

摘要：基板搬运机器人10具备：基台31；手12，具有载置基板W的基板载置部12a；多关节构造的机器人臂11，基端部与基台连结，前端部与手连结，包括多个关节61、62、63；机器人臂驱动机构20，包括驱动源22、和将驱动源的驱动力传递至机器人臂的关节来使关节位移的驱动力传递部23；机器人控制部41，控制驱动源的动作以使手在目标位置采取目标姿势，机器人控制部使手从手拾起基板的位置即第1目标位置L3的下方的第1下方位置L1上升到第1目标位置的上方的第1上方位置L4，并在从第1下方位置到第1下方位置与第1目标位置之间的第1中间位置L2的第1区间A1使多个关节的至少1个单向地位移。

主权项：1.一种基板搬运机器人，其特征在于，具备：基台；手，具有载置基板的基板载置部；多关节构造的机器人臂，其基端部与所述基台连结，前端部与所述手连结，并且包括多个关节，机器人臂驱动机构，包括驱动源、和将所述驱动源的驱动力传递至所述机器人臂的所述关节来使该关节位移的驱动力传递部；以及机器人控制部，控制所述驱动源的动作以使所述手在目标位置采取目标姿势，所述机器人控制部使所述手从所述手拾起所述基板的位置亦即第1目标位置的下方的第1下方位置上升到所述第1目标位置的上方的第1上方位置，并且在从所述第1下方位置到该第1下方位置与所述第1目标位置之间的第1中间位置的第1区间，使多个所述关节中的至少1个所述关节单向地位移。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 川崎重工业株式会社;川崎机器人(美国)有限公司 基板搬运机器人及基板搬运方法

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