申请/专利权人：厦门理工学院

申请日：2021-04-28

公开（公告）日：2021-09-21

公开（公告）号：CN113419405A

主分类号：G03F7/20(20060101)

分类号：G03F7/20(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.06.03#授权;2021.10.12#实质审查的生效;2021.09.21#公开

摘要：本发明公开了一种卷对卷铜箔精密LDI曝光机，四组的快速定夹结构的初始速度均为8cms，后逐渐衰减为零并且依托其内部的机械拖臂运动，机械拖臂的左端连接有“7”型的扣架，扣架的凹陷端与基板接触吸合，机械拖臂的右端包括有压缩簧，在需要对基板进行转移时，在光线扫描器的基础下使扣架快速弹射至基板周围，在靠近后再减速进行吸附，减少在加工过程中机械运动转移的时间，提高机械转移效率，并且气吸配合小电球静电的吸附方式会使干膜基板在转移的时候更加的稳定。

主权项：1.一种卷对卷铜箔精密LDI曝光机，其特征在于：其结构包括机台a0，还包括平铺在其上表面的基板传输架a1，所述机台a0的顶部还连接有上加工台a4，所述上加工台a4内部的左侧连接有快速转移定位机构a2，所述快速转移定位机构a2的内部设有四组快速定夹结构a22，所述快速定夹结构a22的顶部设有垂直定位压板a21，四组所述的快速定夹结构a22的初始速度均为8cms，后逐渐衰减为零并且依托其内部的机械拖臂222运动，所述所述机械拖臂222的左端连接有“7”型的扣架221，所述扣架221的凹陷端与基板接触吸合，所述机械拖臂222的右端包括有压缩簧223，所述压缩簧223为六节且每节之间的间距为5cm，所述压缩簧223的外表面环绕有空压包224，所述空压包224的半径为4cm。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 厦门理工学院 一种卷对卷铜箔精密LDI曝光机

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD