申请/专利权人：广东科视光学技术股份有限公司

申请日：2023-07-12

公开（公告）日：2023-12-26

公开（公告）号：CN220252387U

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：["20230504 CN 2023210409480"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.12.26#授权

摘要：本申请涉及曝光机的LDI曝光机用装载装置技术领域，尤其涉及一种LDI曝光机用压平装置。LDI曝光机用压平装置包括下框组件和上框组件。下框组件包括下框体和下台板，下台板具有用于支撑放置待曝光件的支撑平面。上框组件包括上框体和上台板，上台板具有用于抵压待曝光件的抵压平面。其中，在对待曝光件进行装载时，上台板将待曝光件压平于下台板。通过上台板将待曝光件抵压于下台板，上台板通过上框组件的重量对待曝光件施加压力，进而将待曝光件压平于下台板。如此，在通过LDI技术对待曝光件进行曝光的过程中，对待曝光件进行压平，并使激光能顺利地在待曝光件上进行扫描，提高激光在待曝光件上扫描时光照的一致性，使曝光效果符合预期。

主权项：1.一种LDI曝光机用压平装置，其特征在于，包括：下框组件，所述下框组件包括下框体和下台板，所述下台板安装于所述下框体，所述下台板具有用于支撑放置待曝光件的支撑平面；上框组件，所述上框组件包括上框体和上台板，所述上框体开设有第一透光槽，所述上台板安装于所述上框体，所述上台板具有用于抵压待曝光件的抵压平面，所述抵压平面显露于所述第一透光槽；其中，所述上台板为透光材料；在对待曝光件进行装载时，所述上框组件与所述下框组件合框后，待曝光件位于所述支撑平面与所述抵压平面重叠的区域，所述上台板将待曝光件压平于所述下台板。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广东科视光学技术股份有限公司 LDI曝光机用压平装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD