申请/专利权人：合肥芯冠半导体有限责任公司

申请日：2023-09-04

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117724298A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;G02B26/08;H05K3/06

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：涉及PCB板制版技术领域，具体涉及一种提高LDI扫描曝光精度的方法；S1.通过运动平台触发位置信号，DMD接收位置信号后翻图，每个位置信号的上升沿DMD的图形切换一次；S2.DMD镜片完成翻转后产生一个高电平，激光器在高电平期间打开，低电平期间关闭；步骤S1中运动平台的信号触发间距为图像像素点大小的整数倍，运动平台的移动速度小于DMD最大帧频与信号触发间距的乘积；本申请通过控制触发间距，保证运动信号的触发信号发出周期为运动整数个像素点所需时间，并控制平台运动速度小于信号触发间距与DMD最大帧频的乘积来保证DMD可以对单个图像像素点进行处理，可有效提高图形的曝光质量。

主权项：1.一种提高LDI扫描曝光精度的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：S1.通过运动平台触发位置信号，DMD接收位置信号后翻图，每个位置信号的上升沿DMD的图形切换一次；S2.DMD镜片完成翻转后产生一个高电平，激光器在高电平期间打开，低电平期间关闭；步骤S1中运动平台的信号触发间距为图像像素点大小的整数倍，运动平台的移动速度小于DMD最大帧频与信号触发间距的乘积。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 合肥芯冠半导体有限责任公司 一种提高LDI扫描曝光精度的方法

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