申请/专利权人：协伟集成电路设备(上海)有限公司

申请日：2021-06-10

公开（公告）日：2021-12-17

公开（公告）号：CN215219412U

主分类号：G03F7/20(20060101)

分类号：G03F7/20(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.12.17#授权

摘要：本实用新型公开了一种用于安装NXT‑MK2光刻机的基础座，包括IF基础座、MBSF基础座和WHSF基础座，MBSF基础座包括MBSF基础座RC面体，MBSF基础座RC面体的上表面以矩形阵列的方式设有四个MBSF基础座内嵌不锈钢块，其中，靠近IF基础座的两个MBSF基础座内嵌不锈钢块上均设有MBSF基础座防震脚配件组件；MBSF基础座RC面体的四周外侧表面上均固定连接有一个MBSF基础座内嵌配件C型钢。本实用新型提供的基础座，能满足NXT‑MK2光刻机对基础座的刚性需求和防微震要求及其配套设备的安装环境，能够提供NXT‑MK2光刻机正常运行所需要的环境。

主权项：1.一种用于安装NXT-MK2光刻机的基础座，包括IF基础座、MBSF基础座和WHSF基础座，所述IF基础座和WHSF基础座分别设于MBSF基础座的左右两侧，其特征在于，所述MBSF基础座的具体结构为：包括MBSF基础座RC面体；所述MBSF基础座RC面体的上表面以矩形阵列的方式设有四个MBSF基础座内嵌不锈钢块，其中，靠近IF基础座的两个MBSF基础座内嵌不锈钢块上均设有MBSF基础座防震脚配件组件，所述MBSF基础座防震脚配件组件包括：一个圆环形的MBSF基础座防震脚配件、一个卡设于圆环形的MBSF基础座防震脚配件的顶部中心的圆柱形的MBSF基础座防震脚配件、一个设于圆环形的MBSF基础座防震脚配件一侧的长方体状的MBSF基础座防震脚配件；所述MBSF基础座RC面体的四周外侧表面上均固定连接有一个MBSF基础座内嵌配件C型钢。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 协伟集成电路设备(上海)有限公司 一种用于安装NXT-MK2光刻机的基础座

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