申请/专利权人：浙江蓝特光学股份有限公司

申请日：2022-01-07

公开（公告）日：2023-01-24

公开（公告）号：CN218385125U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.01.24#授权

摘要：本实用新型涉及晶圆键合技术领域，且公开了一种晶圆键合设备，包括键合室，键合室的内表面顶部固定设有气缸，气缸的活塞杆末端固定设有吸盘，键合室的内表面底部固定设有支撑架，支撑架的两侧均包裹设置有弧形板，弧形板的顶部固定设有定位块，弧形板与键合室的内表面之间固定设有伸缩杆，两个定位块的内部均开设有通孔，通孔和键合室的内表面顶部之间设有抽气机构，键合室的内表面底部两端均转动设有竖杆，竖杆与定位块之间设有传动抽吸机构。本实用新型能够对键合连接处的空气进行快速的抽出，尽量避免晶圆键合时键合处存在气泡。

主权项：1.一种晶圆键合设备，包括键合室1，其特征在于，所述键合室1的内表面顶部固定设有气缸2，所述气缸2的活塞杆末端固定设有吸盘3，所述键合室1的内表面底部固定设有支撑架4，所述支撑架4的两侧均包裹设置有弧形板5，所述弧形板5的顶部固定设有定位块6，所述弧形板5与键合室1的内表面之间固定设有伸缩杆7，两个所述定位块6的内部均开设有通孔，所述通孔和键合室1的内表面顶部之间设有抽气机构，所述键合室1的内表面底部两端均转动设有竖杆8，所述竖杆8与定位块6之间设有传动抽吸机构。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江蓝特光学股份有限公司 一种晶圆键合设备

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