申请/专利权人：准懋(杭州)科技有限公司

申请日：2022-10-24

公开（公告）日：2023-03-17

公开（公告）号：CN218646328U

主分类号：G01C19/5621

分类号：G01C19/5621;G01C19/5656

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.03.17#授权

摘要：本公开了提供了一种微机电陀螺，包括：基板、第一音叉结构、第二音叉结构、多个固定部、多个梁结构和多个桁架结构，多个梁结构包括：对称分布在第一音叉结构两侧的多个第一主驱动梁以及对称分布在第二音叉结构两侧的多个第二主驱动梁，多个桁架结构包括多个耦合桁架，分别连接相应的第一主驱动梁与第二主驱动梁，以将第一音叉结构与第二音叉结构耦合连接。该微机电陀螺通过耦合桁架将各音叉结构两侧的主驱动梁连接，达到了耦合第一音叉与第二音叉的目的，又由于主驱动梁是对称分布在各音叉结构两侧的，从而提高了微机电陀螺的结构与受力的对称性，进而提升陀螺的性能。

主权项：1.一种微机电陀螺，其特征在于，包括：基板；第一音叉结构与第二音叉结构，分别位于所述基板上方并与所述基板分隔；多个固定部，固定于所述基板上；以及多个梁结构，位于所述基板上方并与所述基板分隔，所述第一音叉结构与所述第二音叉结构分别通过相应的所述梁结构与相应的所述固定部连接，其中，所述多个梁结构包括多个驱动梁，所述多个驱动梁包括：多个第一主驱动梁，与所述第一音叉结构相连，所述多个第一主驱动梁关于第一对称轴对称分布在所述第一音叉结构的两侧；以及多个第二主驱动梁，与所述第二音叉结构相连，所述多个第二主驱动梁关于第二对称轴对称分布在所述第二音叉结构的两侧，所述微机电陀螺还包括多个桁架结构，所述多个桁架结构包括多个耦合桁架，每个所述耦合桁架分别连接相应的所述第一主驱动梁与所述第二主驱动梁，以将所述第一音叉结构与所述第二音叉结构耦合连接，其中，所述第一对称轴与所述第二对称轴均相对垂直于所述基板的厚度方向和所述微机电陀螺的驱动轴，所述驱动轴沿第一方向延伸并相对垂直于所述厚度方向。

全文数据：

权利要求：

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