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【发明公布】半导体结构及其制作方法_联华电子股份有限公司_202111359108.6 

申请/专利权人:联华电子股份有限公司

申请日:2021-11-17

公开(公告)日:2023-05-23

公开(公告)号:CN116156995A

主分类号:H10N50/10

分类号:H10N50/10;H10N50/80;H10N50/01;H10B61/00

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2023.06.09#实质审查的生效;2023.05.23#公开

摘要:本发明提供一种半导体结构,包含一磁性隧穿结magnetictunnelingjunction,MTJ,堆叠结构设于一基底上,一自旋轨道转矩式spinorbittorque,SOT层设于该MTJ堆叠结构上,其中该SOT层包含有一厚度较厚的第一部分以及两厚度较薄的第二部分。

主权项:1.一种半导体结构,包含:磁性隧穿结magnetictunnelingjunction,MTJ堆叠结构,设于基底上;自旋轨道转矩式spinorbittorque,SOT层,设于该MTJ堆叠结构上,其中该SOT层包含有一厚度较厚的第一部分以及两个厚度较薄的第二部分。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 联华电子股份有限公司 半导体结构及其制作方法

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