申请/专利权人：浜松光子学株式会社

申请日：2022-03-10

公开（公告）日：2024-03-08

公开（公告）号：CN117677818A

主分类号：G01B11/26

分类号：G01B11/26;G02B21/36;G02B21/26;H01L21/66;G03B17/56;G03B15/00

优先权：["20210719 JP 2021-118847"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.26#实质审查的生效;2024.03.08#公开

摘要：本发明可以简单的结构短时间地进行摄像对象物的倾斜推定。倾斜推定系统30是推定显现于图像的摄像对象物的倾斜的系统，且具备：推定对象图像取得部31，其自图像取得多个部分图像、即推定对象图像；焦点位置推定部32，其使用特征量输出模型，根据推定对象图像输出特征量，推定与多个推定对象图像分别对应的对焦时的焦点位置；及倾斜推定部33，其根据这些对焦时的焦点位置，推定摄像对象物的倾斜；特征量输出模型根据涉及摄像时的焦点位置的焦点位置信息所关联的多个学习用图像，通过机器学习而生成，且依照与互不相同的2个学习用图像关联的焦点位置信息比较该2个学习用图像的特征量，基于比较结果进行机器学习。

主权项：1.一种倾斜推定系统，其中，是推定显现于图像的摄像对象物的倾斜的倾斜推定系统，具备：推定对象图像取得机构，其取得显现摄像对象物的图像，自该图像取得作为多个部分图像的推定对象图像；焦点位置推定机构，其使用输入基于图像的信息并输出该图像的特征量的特征量输出模型，根据通过所述推定对象图像取得机构取得的多个推定对象图像的各个，输出多个推定对象图像各自的特征量，根据输出的特征量推定与多个推定对象图像分别对应的对焦时的焦点位置；及倾斜推定机构，其根据与由所述焦点位置推定机构推定的多个推定对象图像分别对应的对焦时的焦点位置，推定显现于所述图像的摄像对象物的倾斜，所述特征量输出模型根据涉及摄像时的焦点位置的焦点位置信息所关联的多个学习用图像，通过机器学习而生成，且依照与互不相同的2个学习用图像关联的焦点位置信息比较该2个学习用图像的特征量，基于比较结果进行机器学习。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浜松光子学株式会社 倾斜推定系统、倾斜推定方法、倾斜推定程序、半导体检查系统及生物体观察系统

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