申请/专利权人：纽富来科技股份有限公司

申请日：2020-09-10

公开（公告）日：2024-03-15

公开（公告）号：CN112558420B

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：["20190910 JP 2019-164710"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.15#授权;2021.04.13#实质审查的生效;2021.03.26#公开

摘要：本发明涉及多带电粒子束评价方法以及多带电粒子束描绘装置。基于本发明的一个方案的多带电粒子束评价方法具备：使用多带电粒子束在基板上以预定的间距描绘使线宽的设计值以预定的变化量变化的多个评价图案的工序；测定所描绘的多个评价图案的线宽的工序；以及提取出多个评价图案的线宽测定结果与设计值之间的差值的分布在特定周期中的变动的工序。上述预定的变化量为数据分辨率以上，且比成为多带电粒子束的每一束的照射单位区域的像素的尺寸小。

主权项：1.一种多带电粒子束评价方法，具备：使用多带电粒子束在基板上以预定的间距描绘使线宽的设计值以预定的变化量变化的、线宽互不相同的多个评价图案的工序；测定所描绘的上述多个评价图案的线宽的工序；以及提取出上述多个评价图案的线宽测定结果与设计值之间的差值的分布在特定周期中的变动的工序，上述预定的变化量为数据分辨率以上，且比成为上述多带电粒子束的每一束的照射单位区域的像素的尺寸小，以反复配置上述线宽互不相同的多个评价图案的方式进行描绘。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 纽富来科技股份有限公司 多带电粒子束评价方法以及多带电粒子束描绘装置

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