申请/专利权人：株式会社斯库林集团

申请日：2023-08-31

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117724297A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;G03F9/00

优先权：["20220916 JP 2022-148502"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：本发明提供一种对基板照射光来进行图案的描绘的描绘装置以及描绘方法，在描绘装置1的载物台21设置有保持基板9的基板保持部25。描绘头部41向基板9照射调制后的光。刻度部52在载物台21上与基板保持部25在主扫描方向上相邻地设置。在刻度部52位于描绘头部41的下方的校准位置的状态下，校准照相机53对从描绘头部41向刻度部52照射的规定的校准图案进行拍摄。在描绘装置1中，在载物台21位于进行基板9相对于基板保持部25的搬入搬出的搬入搬出位置的状态下，刻度部52位于校准位置。由此，能够抑制周期时间的增大并进行描绘头部41的校准。

主权项：1.一种描绘装置，对基板照射光来进行图案的描绘，其中，具有：载物台，设置有保持基板的基板保持部；描绘头部，向所述基板照射调制后的光；主扫描机构，在与所述基板的上表面平行的主扫描方向上使所述载物台相对于所述描绘头部相对移动；刻度部，在所述载物台上与所述基板保持部在所述主扫描方向上相邻地设置；校准照相机，在所述刻度部位于所述描绘头部的下方的校准位置的状态下，对从所述描绘头部向所述刻度部照射的规定的校准图案进行拍摄；校正信息获取部，基于由所述校准照相机获取到的包含所述刻度部以及所述校准图案的检查图像，求出用于校正来自所述描绘头部的光的照射位置的校正信息；以及描绘控制部，通过基于描绘数据以及所述校正信息来控制所述描绘头部以及所述主扫描机构，从而使所述基板相对于所述描绘头部在所述主扫描方向上相对移动并且使所述描绘头部执行对所述基板的描绘，在所述载物台位于进行基板相对于所述基板保持部的搬入搬出的搬入搬出位置的状态下，所述刻度部位于所述校准位置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社斯库林集团 描绘装置以及描绘方法

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