申请/专利权人：株式会社斯库林集团

申请日：2023-09-19

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117742079A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：["20220921 JP 2022-149684"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明提供一种描绘系统，该描绘系统7具有：描绘单元11，对基板进行描绘；以及控制部12，通过控制描绘单元11，使描绘单元11执行对对象基板的图案的描绘以及与该图案的描绘相关的描绘相关信息向对象基板上的规定位置的描绘。由此，能够容易且在短时间内获取对基板上的图案不良的故障排除有用的信息。

主权项：1.一种描绘系统，其中，具有：描绘单元，对基板进行描绘；以及控制部，通过控制所述描绘单元，使所述描绘单元执行对对象基板的图案的描绘以及与所述图案的描绘相关的描绘相关信息向所述对象基板上的规定位置的描绘。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社斯库林集团 描绘系统及描绘方法

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