申请/专利权人：三荣技研股份有限公司;日商EORIC股份有限公司

申请日：2022-08-30

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117882014A

主分类号：G03F9/00

分类号：G03F9/00

优先权：["20210903 JP 2021-143710"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明的目的在于提供一种能够提高层间重叠精度的直接描绘装置及其控制方法。在由前工序的加工装置加工出的基板上进行图案的描绘的直接描绘装置中，基于与所述加工装置的加工精度对应的误差数据，校正图案的描绘位置。

主权项：1.一种直接描绘装置，其是在由前工序的加工装置加工出的基板上进行图案的描绘的直接描绘装置，其特征在于，所述直接描绘装置基于与所述加工装置的加工精度对应的误差数据来校正图案的描绘位置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 三荣技研股份有限公司;日商EORIC股份有限公司 直接描绘装置及其控制方法

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