申请/专利权人：株式会社斯库林集团

申请日：2023-08-31

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117742093A

主分类号：G03F9/00

分类号：G03F9/00

优先权：["20220922 JP 2022-151146"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明提供获取描绘装置中的与描绘位置相关的信息的描绘位置信息获取方法及描绘方法。描绘位置信息获取方法具有：对校正用基板的第一主面进行拍摄，获取两个第一基准标记的位置的工序步骤S33；在校正用基板的第二主面上描绘多个对准标记的工序步骤S34；对校正用基板的第二主面进行拍摄，获取两个第二基准标记的位置以及多个对准标记的位置的工序步骤S36；以及基于两个第一基准标记的位置和两个第二基准标记的位置以及多个对准标记的位置，获取与由对准标记描绘部描绘的多个对准标记的描绘位置相关的描绘位置信息的工序步骤S37。由此，能够提高在描绘装置中描绘在基板的两侧的主面的图案的相对的位置精度。

主权项：1.一种描绘位置信息获取方法，获取描绘装置中的与描绘位置相关的信息，其中，所述描绘装置具有：载物台，用于保持基板；载物台移动机构，使所述载物台水平移动；拍摄部，对保持于所述载物台的所述基板的上表面进行拍摄；图案描绘部，对保持于所述载物台的所述基板的所述上表面照射光并描绘图案；以及对准标记描绘部，固定于所述载物台，并且对保持于所述载物台的所述基板的下表面照射光，描绘在对所述下表面描绘图案时作为描绘位置的基准的多个对准标记，所述描绘位置信息获取方法包括：a工序，准备校正用基板，所述校正用基板在第一主面上设置有两个第一基准标记，在第二主面上设置有俯视时的位置与所述两个第一基准标记一致的两个第二基准标记；b工序，以覆盖所述对准标记描绘部的方式配置将所述第一主面朝向上侧的状态的所述校正用基板，并由所述载物台保持所述校正用基板；c工序，由所述拍摄部对所述校正用基板的所述第一主面进行拍摄，获取所述两个第一基准标记的位置；d工序，由所述对准标记描绘部在所述校正用基板的所述第二主面上描绘所述多个对准标记；e工序，在所述d之后，由所述载物台保持将所述第二主面朝向上侧的状态的所述校正用基板；f工序，由所述拍摄部对所述校正用基板的所述第二主面进行拍摄，获取所述两个第二基准标记的位置以及所述多个对准标记的位置；以及g工序，基于在所述c工序中获取到的所述两个第一基准标记的位置、以及在所述f工序中获取到的所述两个第二基准标记的位置、以及所述多个对准标记的位置，获取与由所述对准标记描绘部描绘的所述多个对准标记的描绘位置相关的描绘位置信息。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社斯库林集团 描绘位置信息获取方法以及描绘方法

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