申请/专利权人:北京北方华创微电子装备有限公司
申请日:2023-12-15
公开(公告)日:2024-03-19
公开(公告)号:CN117727660A
主分类号:H01L21/67
分类号:H01L21/67;H01J37/32
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开
摘要:本发明公开一种盖体装置、工艺腔室及半导体工艺设备,其中,所公开的盖体装置包括盖体12、固定座41和盖体座42,所述盖体座42的第一端转动地连接于所述固定座41上,所述盖体座42的第二端可绕所述盖体座42的第一端转动,以使所述盖体座42在第一状态与第二状态之间切换;在所述盖体座42处在所述第一状态下,所述盖体12相对于预设平面倾斜,并可相对于所述盖体座42移动;在所述盖体座42处在所述第二状态下,所述盖体12与所述预设平面平行。上述方案能解决相关技术涉及的工艺腔室存在密封不严的问题。
主权项:1.一种盖体装置,其特征在于,包括盖体12、固定座41和盖体座42,所述盖体座42的第一端转动地连接于所述固定座41上,所述盖体座42的第二端可绕所述盖体座42的第一端转动,以使所述盖体座42在第一状态与第二状态之间切换;在所述盖体座42处在所述第一状态下,所述盖体12相对于预设平面倾斜,并可相对于所述盖体座42移动;在所述盖体座42处在所述第二状态下,所述盖体12与所述预设平面平行。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 北京北方华创微电子装备有限公司 盖体装置、工艺腔室及半导体工艺设备
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