申请/专利权人：山东汉旗科技有限公司

申请日：2023-11-13

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117476528B

主分类号：H01L21/68

分类号：H01L21/68;H01L21/67;B08B13/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2024.02.20#实质审查的生效;2024.01.30#公开

摘要：本发明涉及晶圆夹持领域，具体是涉及一种晶圆定位夹紧组件，包括工作台和转动设置在工作台上的气电滑环；气电滑环上设置有转动筒，转动筒内部设置有导气柱，转动筒外壁设置有连接环，导气柱顶部设置有导气盘；定位环同轴设置在连接环外部，定位环顶部径向滑动设置有多个滑动块，每个滑动块上设置有条形缺槽，每个条形缺槽内滑动设置有定位板，定位板上设置有多个牛眼轮；每个滑动块上设置有能沿竖直方向往返移动的安装块，安装块上设置有三角形环槽；每个安装块上还设置有能够随沿着三角形环槽滑动的水平夹板。本申请通过水平夹板和定位板的配合，能够对晶圆进行二次定位的同时还能够使晶圆进行自转，提高晶圆稳定性的同时还能够提高清洗效果。

主权项：1.一种晶圆定位夹紧组件，包括工作台和转动设置在工作台上的气电滑环；其特征在于，还包括转动筒、连接环、定位环和定位自转机构；转动筒呈竖直状态设置在气电滑环顶部，转动筒内部同轴设置有导气柱，导气柱与转动筒之间形成环形气道，转动筒底部外壁设置有进气口，气电滑环的气体输出端与进气口连通，连接环同轴设置在转动筒顶部，连接环上端内壁设置有环形弧面，导气柱顶部设置有与环形弧面配合的导气盘；定位环同轴设置在连接环外部，定位环顶部沿轴线方向径向设置有多个导向槽，每个导向槽内均滑动设置有滑动块，每个滑动块靠近定位环轴线的一侧设置有条形缺槽，每个条形缺槽内滑动设置有延伸板，每个延伸板靠近定位环轴线的一端设置有定位板，定位板上设置有多个用于对晶圆进行限位的牛眼轮；每个滑动块远离定位环轴线的一侧设置有第一电动推杆，每个第一电动推杆顶部设置有安装块，每个安装块靠近定位环轴线的一侧设置有三角形环槽，定位自转机构有多组，定位自转机构设置在对应安装块上并用于对晶圆进行夹紧，每组定位自转机构包括能够随着定位环的转动沿着三角形环槽滑动的水平夹板。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 山东汉旗科技有限公司 一种晶圆定位夹紧组件

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