申请/专利权人：华虹半导体(无锡)有限公司

申请日：2023-08-29

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN220626856U

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权

摘要：公开了一种应用于光刻设备的激光传输系统，包括：至少两种类型的激光光源，激光光源用于当光刻设备在进行光刻对准时向光刻设备提供激光，每种类型的激光光源提供的激光波长不同；光纤，其与一种类型的激光光源连接，其用于当光刻设备在进行光刻对准时将与其连接的激光光源发射的激光传输至光刻设备的照明模块；其中，至少两种类型的激光光源包括绿光光源，该绿光光源用于提供绿色激光，绿色激光是波长范围为492纳米至577纳米的激光，与绿光光源连接的光纤上设置有光强调节器，光强调节器用于降低绿色激光的光强。通过在与绿光光源连接的光纤上设置光强调节器，使得绿色激光在进行光刻对准时被衰减，从而降低了绿色激光对I线光阻的损害。

主权项：1.一种应用于光刻设备的激光传输系统，其特征在于，所述光刻设备为I线光刻设备，所述系统包括：至少两种类型的激光光源，所述激光光源用于当所述光刻设备在进行光刻对准时向所述光刻设备提供激光，每种类型的激光光源提供的激光波长不同；光纤，所述光纤与一种类型的激光光源连接，所述光纤用于当所述光刻设备在进行光刻对准时将与其连接的激光光源发射的激光传输至所述光刻设备的光学对准模块；其中，所述至少两种类型的激光光源包括绿光光源，所述绿光光源用于提供绿色激光，所述绿色激光是波长范围为492纳米至577纳米的激光，与所述绿光光源连接的光纤上设置有光强调节器，所述光强调节器用于降低所述绿色激光的光强。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 华虹半导体(无锡)有限公司 应用于光刻设备的激光传输系统

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