申请/专利权人:无锡赛思一科技有限公司
申请日:2023-08-10
公开(公告)日:2024-03-19
公开(公告)号:CN220627762U
主分类号:H01L21/673
分类号:H01L21/673
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.03.19#授权
摘要:本实用新型涉及一种硅片提篮,包括提篮箱,所述提篮箱的内壁开设有至少两个第一卡槽,所述提篮箱的下端四角处分别开设有凹孔,所述凹孔内设有伸缩杆,所述伸缩杆的输出端共同设有连板,所述连板与提篮箱之间共同设有固定组件;所述固定组件包括竖板、限位杆、限位板及复位弹簧,所述提篮箱上设有两组复位弹簧,每组有两个复位弹簧,每组的两个复位弹簧共同连接有限位杆;通过拉动抬杆,限位杆与V形槽的相互配合,从而调整提篮箱和连板之间的距离,进而对不同规格的硅片使用,有效地提高搬运的效率;通过将硅片放置到第一卡槽中,且硅片的下端位于第二卡槽中,提高硅片在搬运过程中的稳定性,并有效降低硅片掉落的风险。
主权项:1.一种硅片提篮,包括提篮箱1,其特征在于,所述提篮箱1的内壁开设有至少两个第一卡槽12,所述提篮箱1的下端四角处分别开设有凹孔,所述凹孔内设有伸缩杆2,所述伸缩杆2的输出端共同设有连板3,所述连板3与提篮箱1之间共同设有固定组件。
全文数据:
权利要求:
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