申请/专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心

申请日：2024-02-06

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN220612660U

主分类号：B23K26/362

分类号：B23K26/362;B23K26/70;B23K37/04

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权

摘要：本实用新型公开了一种用于激光刻蚀的圆盘旋转组件，涉及激光加工设备领域，包括由伺服电机、减速机、联轴器组成的驱动单元，还包括：与驱动单元的旋转轴传动连接的圆盘式样品装夹板；按预定间距设置在样品装夹板盘面上，以对待刻蚀样品进行固定的工装；通过定位组件设置在样品装夹板盘面上的环形掩模板；其中，所述环形掩模板上设置多个通孔，各通孔在空间上与各待刻蚀样品上的待刻蚀区域相匹配。本实用新型提供一种用于激光刻蚀的圆盘旋转组件，相对于现有的加工技术来说，可以实现对金属表面有机膜的刻蚀的批量加工，通过掩模板的设计使得其能对加工区域进行精确控制。

主权项：1.一种用于激光刻蚀的圆盘旋转组件，包括由伺服电机、减速机、联轴器组成的驱动单元，其特征在于，还包括：与驱动单元上的旋转轴传动连接的圆盘式样品装夹板；按预定间距设置在样品装夹板盘面上，以对待刻蚀样品进行固定的工装；通过定位组件设置在样品装夹板盘面上的环形掩模板；其中，所述环形掩模板上设置多个通孔，各通孔在空间上与各待刻蚀样品上的待刻蚀区域相匹配。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 用于激光刻蚀的圆盘旋转组件

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