申请/专利权人：苏州亿波达微系统技术有限公司

申请日：2024-02-21

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117739941A

主分类号：G01C19/5719

分类号：G01C19/5719;G01C19/5733

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明涉及一种单轴MEMS陀螺仪，包括基底和至少一个陀螺机构，每个陀螺机构包括正交布置的两个驱动组件、正交布置的两个质量块组件以及正交布置的两个检测组件，每个驱动组件包括两个驱动模块；每个质量块组件包括两个质量块；每个检测组件包括两个检测模块，驱动模块通过第一弹簧梁连接锚点单元，且相邻的两个驱动模块之间通过耦合弹簧连接；质量块设于对应驱动模块背向陀螺机构中心的一侧，且对应的驱动模块和质量块之间通过第一解耦弹簧连接；检测模块与质量块交替布置，检测模块通过第二弹簧梁连接锚点单元，且相邻的质量块和检测模块通过第二解耦弹簧连接。本发明的单轴MEMS陀螺仪兼备小体积、高精度与高性能的优点。

主权项：1.一种单轴MEMS陀螺仪，包括基底和至少一个陀螺机构，其特征在于，每个所述陀螺机构包括：驱动单元，包括正交布置的两个驱动组件，每个所述驱动组件包括相对布置并且分别位于所述陀螺机构中心两侧的两个驱动模块，所述驱动模块包括驱动部和驱动电极，所述驱动电极固设于所述基底上并驱动所述驱动部沿驱动方向往复位移；质量块单元，包括正交布置的两个质量块组件，每个所述质量块组件包括相对布置并且分别位于所述陀螺机构中心两侧的两个质量块；检测单元，包括正交布置的两个检测组件，每个所述检测组件包括相对布置并且分别位于所述陀螺机构中心两侧的两个检测模块，所述检测模块包括检测部和检测电极，所述检测电极固设于所述基底上并检测所述检测部沿检测方向的往复位移；锚点单元，所述锚点单元固设于所述基底上；其中，所述驱动部通过第一弹簧梁连接所述锚点单元，且沿着围绕所述陀螺机构中心的方向相邻的两个所述驱动部之间通过耦合弹簧连接；所述质量块与所述驱动部一一对应，所述质量块设于对应所述驱动部背向所述陀螺机构中心的一侧，且对应的所述驱动部和所述质量块之间通过第一解耦弹簧连接；所述检测部与所述质量块沿着围绕所述陀螺机构中心的方向交替布置，所述检测部通过第二弹簧梁连接所述锚点单元，且沿着围绕所述陀螺机构中心的方向相邻的所述质量块和所述检测部通过第二解耦弹簧连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州亿波达微系统技术有限公司 一种单轴MEMS陀螺仪

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