申请/专利权人：三星显示有限公司

申请日：2023-09-13

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117737645A

主分类号：C23C14/04

分类号：C23C14/04;C23C14/24

优先权：["20220921 KR 10-2022-0119623"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.22#公开

摘要：公开了一种掩模框架组件、掩模组件和沉积设备。该掩模框架组件包括掩模框架、第一支撑构件和第二支撑构件，掩模框架包括：第一表面，包括在第一方向上延伸的第一长侧部分、在与第一方向相交的第二方向上延伸的第一短侧部分、以及在第一方向或第二方向上延伸的第一凹入部分；第二表面，与第一表面相对并且包括在第一方向上延伸的第二长侧部分、在第二方向上延伸的第二短侧部分、以及在第一方向或第二方向上设置的第二凹入部分；第三表面，连接到第一表面和第二表面并且限定框架开口部分，第一支撑构件设置在第一凹入部分中，第二支撑构件设置在第二凹入部分中。

主权项：1.一种掩模框架组件，所述掩模框架组件包括：掩模框架，包括：第一表面，包括在第一方向上延伸的第一长侧部分、在与所述第一方向相交的第二方向上延伸的第一短侧部分、以及在所述第一方向上沿着所述第一长侧部分延伸或者在所述第二方向上沿着所述第一短侧部分延伸的第一凹入部分；第二表面，与所述第一表面相对，所述第二表面包括在所述第一方向上延伸的第二长侧部分、在所述第二方向上延伸的第二短侧部分、以及在所述第一方向上沿着所述第二长侧部分延伸或者在所述第二方向上沿着所述第二短侧部分延伸的第二凹入部分；以及第三表面，连接到所述第一表面和所述第二表面，所述第三表面限定框架开口部分；第一支撑构件，设置在所述第一凹入部分中；以及第二支撑构件，设置在所述第二凹入部分中。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 三星显示有限公司 掩模框架组件、掩模组件和包括该掩模组件的沉积设备

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