申请/专利权人：浙江珏芯微电子有限公司

申请日：2023-12-21

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117747704A

主分类号：H01L31/18

分类号：H01L31/18;C23C14/06;C23C14/58;H01L21/465

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本申请公开一种快速改变红外器件表面CdTe薄膜形貌的反应液，包括：作为溶剂的水、以及H2O2，H2O2的浓度为：10％‑80％，本发明，可以得到CdTe薄膜表面形貌高度均匀，易控制，并且所需反应液易配置，简单易得；所用方法简便，易于操作。

主权项：1.一种快速改变红外器件表面CdTe薄膜形貌的反应液，其特征在于，包括：作为溶剂的水、以及H2O2，H2O2的浓度为：10％-80％。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江珏芯微电子有限公司 一种快速改变红外器件表面CdTe薄膜形貌的反应液及方法

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