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【发明公布】一种硅片对齐方法_广州蓝海机器人系统有限公司_202410170838.9 

申请/专利权人:广州蓝海机器人系统有限公司

申请日:2024-02-06

公开(公告)日:2024-03-22

公开(公告)号:CN117735024A

主分类号:B65B35/56

分类号:B65B35/56;B65G49/07

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要:本发明提供一种硅片对齐方法,通过硅片夹取装置接收硅片,并将硅片转移到料架中,硅片夹取装置沿两个垂直方向夹持硅片,稳定性好;同时通过夹取避让槽对第一夹取装置与第二夹取装置避让,在转移硅片时,能将硅片平稳放置在料架的底部,硅片转移时不容易损坏;硅片转移到料架后,通过翻转装置翻转料架,将料架从水平状态翻转竖直状态,同时带动料架内的硅片翻转,防脱位装置将硅片限制在料架中;翻转后相邻的硅片不会在重力作用下相互压紧,吹风装置吹出气体并带动相邻的硅片分离,减少相邻的硅片之间的接触面积,推动装置推动硅片对齐,硅片移动时的摩擦力小。

主权项:1.一种硅片对齐方法,其特征在于:通过硅片对齐装置和硅片夹取装置实现,硅片对齐装置包括翻转装置,在翻转装置上设有料架和活动设置的防脱位装置,沿料架的宽度方向和长度方向,在料架中分别设有两推动装置和两夹取避让槽,两推动装置垂直设置;两夹取避让槽垂直设置且与两推动装置分别相对设置,推动装置包括推动驱动装置和推板,推动驱动装置固定在料架上,推动驱动装置的活动端伸入到料架内与推板连接;在推板上设有一个以上的出气孔,出气孔与吹风装置连接;硅片夹取装置包括第一夹取装置、第二夹取装置、夹取横移装置和夹取升降装置,夹取升降装置设置在夹取横移装置上且与第一夹取装置与第二夹取装置连接,第一夹取装置与第二夹取装置的夹取方向垂直设置;第一夹取装置与一夹取避让槽对应设置;第二夹取装置与另一夹取避让槽对应设置;方法包括以下步骤:S1、驱动防脱位装置与料架错位;S2、第一夹取装置和第二夹取装置夹持硅片,夹取横移装置驱动第一夹取装置和第二夹取装置水平移动,将硅片移动到料架上方;夹取升降装置驱动第一夹取装置和第二夹取装置向下移动使得第一夹取装置和第二夹取装置分别从两夹取避让槽进入到料架内;当硅片与料架底部接触,第一夹取装置和第二夹取装置松开对硅片的夹持,将硅片放置在料架内;S3、夹取横移装置驱动第一夹取装置和第二夹取装置沿料架的水平移动远离料架;夹取升降装置驱动第一夹取装置和第二夹取装置复位;S4、驱动防脱位装置与料架对准,将硅片限制在料架内;S5、翻转装置驱动料架翻转90°,将硅片翻转为竖直状态;S6、吹风装置吹出气流使相邻的硅片、硅片与料架底部、硅片与防脱位装置分离;S7、两推动装置分别沿料架的宽度方向和长度方向移动,推动硅片对齐。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 广州蓝海机器人系统有限公司 一种硅片对齐方法

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