申请/专利权人：理纯(上海)洁净技术有限公司

申请日：2022-01-23

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN114515522B

主分类号：B01F25/421

分类号：B01F25/421;B01F33/40;B01F33/70;B01F33/82;B01F35/00;B01F35/11;B08B9/032;B08B9/093

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2022.06.07#实质审查的生效;2022.05.20#公开

摘要：本发明公开了一种具有去气泡功能的半导体药液的配送系统，包括底座和接收桶，所述底座的上部四角位置均安装有支柱，所述配药桶的顶部安装有顶阀，所述配药桶的后部连接有输出管一，所述输出管一的一端连接有输出管二、所述输出管二的外部连接有输出管三，所述输出管三的一端连接有预混结构，所述接收桶的外部安装有排出管，且接收桶的顶部设有消泡器，所述顶板的顶部设有进排风结构；本发明的各项药剂能够被动混合，在配送的过程中具备混合功能，使得进入接收桶内的药液不会出现分层、分堆的现象，无需借用外部装置进行混合，提高了整个配送系统的功能性。

主权项：1.一种具有去气泡功能的半导体药液的配送系统，其特征在于：包括底座1和接收桶17，所述底座1的上部四角位置均安装有支柱2，所述支柱2的顶端安装有顶板3，所述底座1的上部位于四根支柱2的内侧安装有电子秤台4，所述电子秤台4的上部放置有配药桶5，所述配药桶5的顶部安装有顶阀6，所述配药桶5的后部连接有输出管一7，所述输出管一7的一端连接有输出管二8、所述输出管二8的外部连接有输出管三9，所述输出管三9的一端连接有预混结构10，所述接收桶17的外部安装有排出管18，且接收桶17的顶部设有消泡器19，所述顶板3的顶部设有进排风结构20；所述预混结构10包括有底板11、支座12、混合筒13、连通管14、反应筒15和输出管四16，所述支座12安装在底板11的上部，所述支座12的数量为两组，所述混合筒13和反应筒15分别安装在两组支座12的上部，所述连通管14连接在混合筒13和反应筒15之间，所述输出管四16连接在反应筒15与接收桶17之间；所述进排风结构20包括有高压风机21、排风管22、抽风管23、连接管24、抽管25、排放管26、加热箱27、吹管28、导柱29、压紧头30和气缸31，所述高压风机21安装在顶板3的上部，所述排风管22连接在高压风机21的输出端，所述抽风管23连接在高压风机21的输入端，所述连接管24连接在排风管22和抽风管23之间，所述抽管25的两端分别与排风管22和吹管28连接，所述加热箱27设置在排风管22的外部，所述排放管26安装在排风管22的外部位于高压风机21和加热箱27之间，所述导柱29贯穿顶板3与吹管28连接，所述压紧头30安装在吹管28的外部，所述气缸31安装在顶板3的上部中心位置，且气缸31的输出轴贯穿顶板3与吹管28连接，所述抽风管23的一端设有过滤结构36；所述排风管22、抽风管23、连接管24、排放管26的一端分别设有阀一、阀二、阀三和阀四，所述排风管22的外部位于排放管26和加热箱27之间位置设有阀五，阀一、阀二、阀三、阀四和阀五能够相互配合设置空气流通走向；所述排风管22与混合筒13之间设有增压结构40，所述增压结构40包括有增压管41、气管42、第一控制阀43和第二控制阀44，所述增压管41与排风管22连接，所述气管42连接在混合筒13和排风管22之间，所述第一控制阀43安装在排风管22的外部位于增压管41和排放管26之间，所述第二控制阀44安装在增压管41的外部；所述配药桶5的数量为三个，三个所述配药桶5通过三个输出管一7与输出管二8连通，三个输出管一7、输出管四16和排出管18的外部均设有电磁阀；所述混合筒13的内部安装有两个弯管32和六个分散板33，两个弯管32呈倒钩形对称设置，六个分散板33的侧边均设有缺口，且六个分散板33交错设置；所述反应筒15的内部安装有螺旋叶片34，所述螺旋叶片34与反应筒15之间设有焊接点；所述抽风管23的一端设有过滤结构36；所述压紧头30的数量为三个，三个压紧头30分别垂直对应三个配药桶5顶部的顶阀6，且压紧头30的底部设有橡胶圈；所述加热箱27的内部设有电热丝35；所述过滤结构36包括有箱体37、滤网38和防护网孔39，所述箱体37安装在抽风管23的一端，所述滤网38安装在箱体37的内部，所述防护网孔39设置在箱体37的一端中心位置。

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