申请/专利权人：江苏福拉特自动化设备有限公司

申请日：2023-09-14

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220796781U

主分类号：H01L33/00

分类号：H01L33/00;H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：本实用新型公开了一种MicroLED基板衬底减薄设备用药液槽，包括槽体、旋转台、内磁体、外磁体、隔磁套、电机和固定轴，所述旋转台置于槽体内，固定轴转动连接在槽体上，且固定轴的顶端与旋转台固定连接，隔磁套固定连接在槽体的外壁上，固定轴的下端伸于隔磁套的内腔中并与内磁体固定连接，外磁体置于隔磁套的外侧并与隔磁套同轴布置，电机的电机轴与外磁体固定连接。本实用新型通过将药液槽中的电机轴和外磁体附在一起，内磁体和旋转台上的固定轴附在一起，外磁体带动内磁体旋转，中间带有隔磁套，将外磁体和内磁体隔离开，保证药液不会泄露，使产品在药液内旋转刻蚀。

主权项：1.一种MicroLED基板衬底减薄设备用药液槽，其特征在于：包括槽体（31）、旋转台（32）、内磁体（33）、外磁体（34）、隔磁套（35）、电机（36）和固定轴（37），所述旋转台（32）置于槽体（31）内，固定轴（37）转动连接在槽体（31）上，且固定轴（37）的顶端与旋转台（32）固定连接，隔磁套（35）固定连接在槽体（31）的外壁上，固定轴（37）的下端伸于隔磁套（35）的内腔中并与内磁体（33）固定连接，外磁体（34）置于隔磁套（35）的外侧并与隔磁套（35）同轴布置，电机（36）的电机轴与外磁体（34）固定连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏福拉特自动化设备有限公司 一种Micro LED基板衬底减薄设备用药液槽

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