申请/专利权人:聚灿光电科技(宿迁)有限公司
申请日:2024-01-23
公开(公告)日:2024-03-22
公开(公告)号:CN117613163B
主分类号:H01L33/14
分类号:H01L33/14;H01L33/32;H01L33/34;H01L33/00
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.03.22#授权;2024.03.15#实质审查的生效;2024.02.27#公开
摘要:本申请涉及半导体技术领域,尤其涉及一种半导体发光元件的外延结构及制备方法,该外延结构包括多量子阱层;沉积在多量子阱层上的空穴提供层;空穴提供层包括由下至上依次沉积的第一电子阻挡层、第一SiC层、LTpGaN层、第二电子阻挡层、第二SiC层及HTpGaN层;其中,第一电子阻挡层及第二电子阻挡层的材料为AlN和AlGaN中的一种或者两种;LTpGaN层及HTpGaN层的材料为掺杂有镁Mg元素的GaN和掺杂有镁Mg元素的AlGaN中的一种或者两种。该外延结构可以形成低势垒层,以起到聚集空穴的作用,同时,由于该外延结构为无In结构,不会影响出光效率,可以提升发光元件的亮度。
主权项:1.一种半导体发光元件的外延结构,其特征在于,至少包括:多量子阱层;沉积在所述多量子阱层上的空穴提供层;所述空穴提供层包括由下至上依次沉积的第一电子阻挡层、第一SiC层、LTpGaN层、第二电子阻挡层、第二SiC层及HTpGaN层;其中,所述第一电子阻挡层及所述第二电子阻挡层的材料为AlN和AlGaN中的一种或者两种;所述LTpGaN层及所述HTpGaN层的材料为掺杂有镁Mg元素的GaN和掺杂有镁Mg元素的AlGaN中的一种或者两种;所述第一SiC层及第二SiC层用于在所述空穴提供层中形成低势垒层,以使空穴聚集于所述第一SiC层及第二SiC层。
全文数据:
权利要求:
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