申请/专利权人：浙江工业大学

申请日：2020-07-22

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN112071800B

主分类号：H01L21/687

分类号：H01L21/687;B25B11/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2020.12.29#实质审查的生效;2020.12.11#公开

摘要：本发明公开了用于单面湿法刻蚀的手持夹具。现有湿法刻蚀加工设备不适用于小批量原型器件的制备。本发明包括下层结构、上层结构、手柄。下层结构中下层本体表面开设外圈密封槽和内圈密封槽，内置外圈密封圈和内圈密封圈，并开设下层螺纹孔。上层结构中上层本体上开有晶圆定位槽，晶圆定位槽底开有刻蚀液通孔，上层本体开设有上层螺纹孔和手柄安装孔。使用中，将需要刻蚀的材料晶圆置于晶圆定位槽内，下层本体与上层本体通过螺钉固定连接。本发明制造成本低，使用方便，能够较好的控制蚀刻时间，可以实现晶圆的单面蚀刻，便于在小批量、原型器件的研发过程中使用。

主权项：1.用于单面湿法刻蚀的手持夹具，包括下层结构、上层结构、手柄；其特征在于：所述的下层结构包括圆板形状的下层本体1，下层本体1上表面开设有圆环形状的外圈密封槽2和内圈密封槽3，外圈密封槽2和内圈密封槽3与下层本体1同心设置，外圈密封槽2内嵌有外圈密封圈5，内圈密封槽3内嵌有内圈密封圈6；贯穿下层本体1上下表面开有多个下层螺纹孔4，多个下层螺纹孔4位于同一圆周上，且位于外圈密封槽2与内圈密封槽3之间；所述的上层结构包括圆板形状的上层本体7，上层本体7由底面向上开有圆形的晶圆定位槽8，晶圆定位槽8与上层本体7同心设置,晶圆定位槽8直径大于内圈密封槽3直径；贯穿上层本体7顶面和晶圆定位槽8底面开有刻蚀液通孔9；贯穿上层本体7上下表面开有多个上层螺纹孔10，多个上层螺纹孔10位于同一圆周上，且位于晶圆定位槽8边沿与上层本体7边沿之间，上层螺纹孔10与下层螺纹孔4位置一一对应；上层本体7上表面设有手柄安装孔11；所述的手柄12通过手柄安装孔11固定安装在上层本体7上表面；使用中，将需要单面湿法刻蚀的材料晶圆13置于晶圆定位槽8内，下层本体1与上层本体7通过螺钉14固定连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江工业大学 用于单面湿法刻蚀的手持夹具

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