申请/专利权人：南京元感微电子有限公司

申请日：2024-01-24

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117606459B

主分类号：G01C19/5705

分类号：G01C19/5705;G01C19/5712;G01C19/5783;G01P15/125

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2024.03.15#实质审查的生效;2024.02.27#公开

摘要：本发明涉及陀螺仪技术领域，公开一种单锚点MEMS陀螺仪，包括：中心锚点；中心连接组件，包括第一中心连接框和第二中心连接框，第一中心连接框位于中心锚点的外侧且两者相连，第二中心连接框位于第一中心连接框的外侧；四个质量块，沿第一方向分布的两个质量块分别和与其正对的衬底形成第二方向检测电极，沿第二方向分布的两个质量块分别和与其正对的衬底形成第一方向检测电极；第三方向检测电极，设置在质量块上；驱动框，与四个质量块弹性连接；驱动电极和驱动检测电极，两者均设置在驱动框上。本发明公开的单锚点MEMS陀螺仪，采用单锚点设计，能够减小多锚点连接引入的不对称性，受封装和温度变化影响较小，利于应力的抑制。

主权项：1.一种单锚点MEMS陀螺仪，其特征在于，包括：中心锚点；中心连接组件，包括相连的第一中心连接框和第二中心连接框，所述第一中心连接框位于所述中心锚点的外侧且两者相连，所述第二中心连接框位于所述第一中心连接框的外侧，所述第二中心连接框能够沿第一方向、第二方向及第三方向转动；四个质量块，沿所述第一方向和所述第二方向呈正交对称分布，每个所述质量块均与所述第二中心连接框相连，沿所述第一方向分布的两个质量块分别为第一质量块和第二质量块，所述第一质量块和所述第二质量块分别和与其正对的衬底形成第二方向检测电极，沿所述第二方向分布的两个质量块分别为第三质量块和第四质量块，所述第三质量块和所述第四质量块分别和与其正对的衬底形成第一方向检测电极；第三方向检测电极，设置在所述质量块上；驱动框，位于四个所述质量块的外侧，所述驱动框与四个所述质量块弹性连接，所述驱动框能够带动所述质量块沿所述第三方向转动；驱动电极和驱动检测电极，两者均设置在所述驱动框上，所述驱动电极能够驱动所述驱动框沿第三方向转动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京元感微电子有限公司 一种单锚点MEMS陀螺仪

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