申请/专利权人：合肥安德科铭半导体科技有限公司

申请日：2023-08-10

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220651963U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;B08B3/02;B08B13/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型提供了一种晶片表面清洗装置，包括：箱体和旋转板，所述箱体内的中部固定连接横板，横板内开设传动槽，而传动杆通过轴承活动连接在传动槽内，且箱体侧面固定连接主电机，主电机通过联轴器连接传动杆，而横板的上表面开设活动槽，活动槽内活动连接旋转块，同时旋转块下表面固定连接转轴，转轴的下端通过斜齿轮连接传动杆，所述旋转板内对称开设移动槽，移动槽内通过轴承活动连接移动丝杆，且移动板通过螺接的移动丝杆滑动连接在移动槽内，而移动板上端固定连接夹持板。本实用新型通过夹持板、推板、偏移块、移动块、固定块和夹持条的配合，使得夹持条能够形成弧形固定晶片，从而增强对晶片的固定效果，避免晶片出现意外脱离的问题。

主权项：1.一种晶片表面清洗装置，包括：箱体（1）和旋转板（12），箱体（1）外侧固定连接储液箱（17），箱体（1）内侧的上端固定连接喷水组件（2），且储液箱（17）通过输送管连通喷水组件（2），其特征在于：所述箱体（1）内的中部固定连接横板（9），横板（9）内开设传动槽，而传动杆（8）通过轴承活动连接在传动槽内，且箱体（1）侧面固定连接主电机（7），主电机（7）通过联轴器连接传动杆（8），而横板（9）的上表面开设活动槽，活动槽内活动连接旋转块（11），同时旋转块（11）下表面固定连接转轴，转轴的下端通过斜齿轮连接传动杆（8），并且旋转块（11）的上端固定连接旋转板（12），所述旋转板（12）内对称开设移动槽，移动槽内通过轴承活动连接移动丝杆（10），且移动板（14）通过螺接的移动丝杆（10）滑动连接在移动槽内，而移动板（14）上端固定连接夹持板（5），同时夹持板（5）上端开设贯穿槽，推板（3）两端滑动连接在贯穿槽内，推板（3）的两端均通过偏移块（16）活动连接移动块（6），而推板（3）中部螺接调节丝杆（4），调节丝杆（4）的一端通过轴承活动连接夹持板（5），并且夹持板（5）表面固定连接固定块（15），而夹持板（5）和固定块（15）均固定连接夹持条（13）。

全文数据：

权利要求：

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