申请/专利权人：麦斯塔微电子(深圳)有限公司

申请日：2023-08-30

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220653347U

主分类号：H03H9/205

分类号：H03H9/205;H03H3/02;G01K7/32

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型的MEMS谐振器包括：谐振子、锚固件、连接梁和电极，其中，锚固件包括一个TSV柱和接触柱，多个接触柱通过一个TSV柱进行固定，进而TSV柱将谐振子固定在衬底上，驱动电极用于驱动谐振子产生谐振，检测电极用于检测谐振子产生的谐振，通过将现有技术中充当支撑结构的多个TSV通孔设计成一个，从而弥补多个TSV通孔之间的连接点强度不足的缺陷，此外，通过额外增加一层电连接层，使得TSV柱之间的应力互相平衡且具有一致性，且使用TSV柱后使得锚点的鲁棒性更强，从而提高MEMS谐振器的性能和寿命。

主权项：1.一种MEMS谐振器，其特征在于，所述MEMS谐振器包括：谐振子，所述谐振子的数量至少为两个，所述谐振子用于产生谐振；锚固件，所述锚固件包括TSV柱及接触柱，所述谐振子通过所述接触柱固定在一个所述TSV柱上，且所述TSV柱固定在衬底上；连接梁，所述连接梁的两端分别与所述谐振子连接，且所述连接梁通过所述接触柱与所述TSV柱固定；电极，所述电极包括驱动电极和检测电极，其中，所述驱动电极用于驱动所述谐振子产生谐振，所述检测电极用于检测所述谐振子产生的谐振。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 麦斯塔微电子(深圳)有限公司 一种MEMS谐振器

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