申请/专利权人:株洲欧科亿数控精密刀具股份有限公司
申请日:2023-12-27
公开(公告)日:2024-03-29
公开(公告)号:CN117779000A
主分类号:C23C16/52
分类号:C23C16/52;C23C16/56;C23C16/34;C23C16/36;C23C16/30;C23C16/40
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开
摘要:本发明公开了一种调控CVD涂层颜色的方法,包括:将准备好的涂层基体放置在涂层沉积炉中,进行涂层沉积,所述涂层主要成分为氮化钛、氮化铬、碳氮化钛、氧化锆,金属氮化物、碳氮化物或氧化物涂层;涂层完成后,对表面涂覆有氮化钛、氮化铬、碳氮化钛、氧化锆,金属氮化物、碳氮化物或氧化物的涂层样品进行热处理;根据不同的颜色要求,热处理中充入气体种类为压缩空气、氮氧混合气体、纯氧、纯氮中的一种,热处理温度需低于涂层完全氮化或氧化的温度,热处理时间为10‑120min,气体流量为0.1‑10Lmin,本发明通过控制温度、时间、气氛等参数可以在较为简单的条件下完成涂层颜色的变化,其具有成本低、周期短、易实现、易推广、设备要求低、可变化颜色多样的优点。
主权项:1.一种调控CVD涂层颜色的方法,其特征在于,包括以下步骤:S1:将准备好的涂层基体放置在涂层沉积炉中,进行涂层沉积,所述涂层为氮化钛、氮化铬、碳氮化钛、氧化锆、金属氮化物、碳氮化物或氧化物涂层;S2:涂层完成后,对S1得到的涂层样品进行热处理;S3:根据不同的颜色要求,热处理中充入气体种类为压缩空气、氮氧混合气体、纯氧、纯氮中的一种,热处理温度需低于涂层完全氮化或氧化的温度,热处理时间为10-120min,气体流量为0.1-10Lmin。
全文数据:
权利要求:
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