申请/专利权人：无锡芯启博科技有限公司

申请日：2023-12-26

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117783817A

主分类号：G01R31/28

分类号：G01R31/28

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本发明公开了一种半导体CP测试装置，涉及CP测试技术领域，包括设置在工作台上的显示器和检测箱，检测箱固定连接有第一电动推杆，第一电动推杆的输出端固定连接有探针排，检测箱的右侧设置有用于转盘上料机构，转盘上料机构上可拆卸的设置有多个用于吸附晶圆的吸附机构，检测箱的底部沿左右方向横向设置有直线进给机构，转盘上料机构的轴线与直线进给机构的轴线垂直且交叉。本发明，通过直线进给机构、转盘上料机构和吸附机构之间的配合设置，能够有效提高对晶圆进行CP检测的效率。

主权项：1.一种半导体CP测试装置，包括设置在工作台上的显示器和检测箱，所述检测箱固定连接有第一电动推杆，所述第一电动推杆的输出端固定连接有探针排，其特征在于：所述检测箱的右侧设置有用于转盘上料机构，所述转盘上料机构上可拆卸的设置有多个用于吸附晶圆的吸附机构，所述检测箱的底部沿左右方向横向设置有直线进给机构，所述转盘上料机构的轴线与直线进给机构的轴线垂直且交叉；所述转盘上料机构上等间距排列设置有多个吸附机构，其中位于所述探针排正下方的吸附机构为晶圆CP测试的检测位，位于所述检测箱后侧且与检测位相邻的为吸附机构的卸料位；当所述转盘上料机构带动吸附机构转动至直线进给机构上时，所述直线进给机构用于驱动吸附机构直线转动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 无锡芯启博科技有限公司 一种半导体CP测试装置

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