申请/专利权人：通威太阳能(眉山)有限公司

申请日：2023-12-28

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117810309A

主分类号：H01L31/18

分类号：H01L31/18;H01L31/0236;H01L31/0216;H01L31/0232

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明公开了一种硅片绒面的制备方法及硅片、太阳电池、光伏组件，该硅片绒面的制备方法，包括以下步骤：制备初始绒面：提供硅片，对硅片表面进行第一酸刻蚀或者第一碱刻蚀处理，制得初始绒面；制备富硼多晶硅层：在初始绒面表面沉积富硼多晶硅层，富硼多晶硅层中硼掺杂浓度为4×1019个cm3～1×1021个cm3；再次制绒：对富硼多晶硅层进行第二碱刻蚀处理。本申请的制备方法可以对多种类型的硅片进行制绒处理，使硅片的制绒反射率进一步降低。

主权项：1.一种硅片绒面的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1，制备初始绒面：提供硅片，对硅片的表面进行第一酸刻蚀或者第一碱刻蚀处理，制得初始绒面；步骤S2，制备富硼多晶硅层：在初始绒面的表面沉积富硼多晶硅层，富硼多晶硅层中硼掺杂浓度为4×1019个cm3～1×1021个cm3；步骤S3，再次制绒：对富硼多晶硅层进行第二碱刻蚀处理。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 通威太阳能(眉山)有限公司 一种硅片绒面的制备方法及硅片、太阳电池、光伏组件

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