申请/专利权人：东莞市凯格精机股份有限公司

申请日：2023-12-29

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117810146A

主分类号：H01L21/68

分类号：H01L21/68;H01L21/683;H01L21/67

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明公开了一种单头双臂固晶装置，其包括驱动器、Z轴模组和检测机构，驱动器连接有摆臂组件，摆臂组件上设有吸嘴组件，吸嘴组件上连接有校正组件，驱动器用于带动摆臂组件转动至取晶工位和或固晶工位上方，Z轴模组设于摆臂组件上方的第一间距处，用于下压摆臂组件，以使吸嘴组件到达取晶工位或固晶工位，检测机构实时检测吸嘴组件上的晶圆，并电连接校正组件，校正组件带动吸嘴组件转动。本发明的Z轴模组取消了与摆臂组件或驱动器的连接，驱动器的负载大大减轻，驱动器带动摆臂组件转动的速度加快，检测机构可以实时检测吸嘴组件的晶圆，校正组件可以调整晶圆在吸嘴组件的位置，避免晶圆转移到基板上时存在偏位，固晶精度低下的问题。

主权项：1.一种单头双臂固晶装置，其特征在于：包括驱动器、Z轴模组和检测机构，所述驱动器连接有摆臂组件，所述摆臂组件上设有吸嘴组件，所述吸嘴组件上连接有校正组件，所述驱动器用于带动所述摆臂组件转动至取晶工位和或固晶工位上方，所述Z轴模组设于所述摆臂组件上方的第一间距处，用于下压所述摆臂组件，以使所述吸嘴组件到达所述取晶工位或固晶工位，所述检测机构实时检测所述吸嘴组件上的晶圆，并电连接所述校正组件，所述校正组件带动所述吸嘴组件转动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东莞市凯格精机股份有限公司 单头双臂固晶装置

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