申请/专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所

申请日：2020-09-08

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN114152266B

主分类号：G01C25/00

分类号：G01C25/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2022.03.25#实质审查的生效;2022.03.08#公开

摘要：本发明提供一种MEMS陀螺正交误差校正系统，包括：MEMS陀螺敏感模态电极，用于生成位移信号；预处理组件，与所述MEMS陀螺敏感模态电极相连，用于将所述位移信号转换为数字电压信号；数字解调组件，与所述多位量化器和所述MEMS陀螺敏感模态电极相连，用于根据所述数字电压信号生成同相1比特脉宽密度调制信号和正交相1比特脉宽密度调制信号，并反馈至所述MEMS陀螺敏感模态电极。本发明的MEMS陀螺正交误差校正系统能够在不增加特定校正电极的前提下，解决现有技术中对MEMS陀螺正交误差抑制能力和校正实时性不强的问题，有效提高了MEMS陀螺的精度。

主权项：1.一种MEMS陀螺正交误差校正系统，其特征在于：包括：MEMS陀螺敏感模态电极，用于生成位移信号；预处理组件，与所述MEMS陀螺敏感模态电极相连，用于将所述位移信号转换为数字电压信号；所述预处理组件包括：前置电路，与所述MEMS陀螺敏感模态电极相连，用于将所述MEMS陀螺敏感模态电极生成的位移信号转换为模拟电压信号；多位量化器，与所述前置电路相连，用于将所述模拟电压信号转换为数字电压信号；数字解调组件，与所述多位量化器和所述MEMS陀螺敏感模态电极相连，用于根据所述数字电压信号生成同相1比特脉宽密度调制信号和正交相1比特脉宽密度调制信号，并反馈至所述MEMS陀螺敏感模态电极。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 MEMS陀螺正交误差校正系统

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