申请/专利权人：青岛融合装备科技有限公司

申请日：2023-09-04

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN220710289U

主分类号：H01L21/683

分类号：H01L21/683

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权

摘要：本实用新型涉及半导体晶片生产技术领域，具体涉及半导体晶片翻转机构，包括基座，基座上竖直安装有支撑架，支撑架上固定有电机，电机通过曲柄滑块机构连接齿轮轴，齿轮轴上固定有齿轮，齿轮与竖直安装于支撑架上的齿条相啮合，齿轮轴端部固定安装有安装板，安装板与转动轴相平行，安装板上设有吸盘，安装板上设有距离传感器；曲柄滑块机构包括凸轮、连杆、滑轨、滑块和滑板，凸轮的中心轴固定连接电机的输出轴，凸轮通过连杆连接设于凸轮下方的滑板，连杆的两端分别与凸轮的非中心处和滑板铰接，滑板通过滑块与竖直安装于支撑架上的滑轨滑动连接，滑板与齿轮轴转动连接。结构简单、使用方便，操作精度高，运行稳定、运行效率高，不易损坏晶片。

主权项：1.一种半导体晶片翻转机构，其特征在于，包括基座（1），基座（1）上竖直安装有支撑架（2），支撑架（2）上固定有电机（3），电机（3）通过曲柄滑块机构（4）连接齿轮轴（5），齿轮轴（5）上固定有齿轮，齿轮与竖直安装于支撑架（2）上的齿条（12）相啮合，齿轮轴（5）端部固定安装有安装板（6），安装板（6）与齿轮轴（5）相平行，安装板（6）上设有吸盘（7），安装板（6）上设有距离传感器（8）；曲柄滑块机构（4）包括凸轮（41）、连杆（42）、滑轨（43）、滑块（44）和滑板（45），凸轮（41）的中心轴固定连接电机（3）的输出轴，凸轮（41）通过连杆（42）连接设于凸轮（41）下方的滑板（45），连杆（42）的两端分别与凸轮（41）的非中心处和滑板（45）铰接，滑板（45）通过滑块（44）与竖直安装于支撑架（2）上的滑轨（43）滑动连接，滑板（45）与齿轮轴（5）转动连接。

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权利要求：

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