申请/专利权人：苏州诚拓智能装备有限公司

申请日：2023-07-28

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN220710279U

主分类号：H01L21/68

分类号：H01L21/68;H01L21/677

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权

摘要：本实用新型公开了一种硅片对中装置，包括底座，还包括设置在底座下端的皮带输送线、设置在底座上端的直线导轨、滑动设置在直线导轨上且相互对称的对中件、设置在底座上的安装座、设置在底座两侧的防护罩，所述皮带输送线包括设置在底座下端的主动轮、从动轮、绕设在主动轮和从动轮上的同步带以及用于驱动主动轮转动的电机，所述直线导轨的中轴线与主动轮和从动轮的圆心连线重合，两个所述对中件分别与同步带的左侧和右侧固定连接。优点：整个设备结构紧凑、便于组装、便于维护，并且皮带输送线放到底座下侧更加安全，加了护罩防止碎片掉落到影响对中件的运动安全。

主权项：1.一种硅片对中装置，包括底座1，其特征在于：还包括设置在底座1下端的皮带输送线2、设置在底座1上端的直线导轨3、滑动设置在直线导轨3上且相互对称的对中件4、设置在底座1上的安装座6、设置在底座1两侧的防护罩5，所述皮带输送线2包括设置在底座1下端的主动轮21、从动轮22、绕设在主动轮21和从动轮22上的同步带23以及用于驱动主动轮21转动的电机24，所述直线导轨3的中轴线与主动轮21和从动轮22的圆心y连线重合，两个所述对中件4分别与同步带23的左侧和右侧固定连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州诚拓智能装备有限公司 一种硅片对中装置

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